關(guān)于渦旋式真空泵的技術(shù)交流
真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理和化學(xué)的方法來吸收被吸收容器并獲得真空的設(shè)備或設(shè)備。一般來說，真空泵是一種通過各種方法來改善、生產(chǎn)和維持某個(gè)封閉空間的裝置。

關(guān)于渦旋式真空泵的技術(shù)交流

一、渦旋真空泵的基本特點(diǎn)
渦旋真空泵是由渦旋壓縮機(jī)演變而來的。該機(jī)構(gòu)原理最早于1905年由法國(guó)人Cruex發(fā)明，由于當(dāng)時(shí)的工藝技術(shù)沒有應(yīng)用于現(xiàn)實(shí)，直到20世紀(jì)80年代左右才應(yīng)用于真空技術(shù)領(lǐng)域。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，零件少，間隙小，泄漏率小，壓縮比高，壓需冷卻水與潤(rùn)滑油，維護(hù)簡(jiǎn)單，可靠性高。

由于渦旋式真空泵自身型線的特點(diǎn)，一般情況下，渦旋式真空泵泵的抽速不超過1000L/min；抽速大于4L/s的渦旋泵一般采用雙側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，而抽速小于4L/s的則多采用單側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，極限真空在1Pa左右。

二、渦旋真空泵的工作原理
渦旋真空泵的工作腔由一對(duì)型線共軛渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤是一種渦旋盤狀結(jié)構(gòu)，在盤面上有一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋槽。靜渦盤與動(dòng)渦盤交錯(cuò)組裝在一起，靜盤防旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180°相位差。這樣，一對(duì)渦旋盤副組成了無油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。

靜渦旋盤和動(dòng)渦旋盤在幾條直線（橫截面上有幾個(gè)點(diǎn)）上相互接觸，形成幾對(duì)新月形封閉腔。在曲軸驅(qū)動(dòng)下，動(dòng)渦旋盤繞著靜渦旋盤的渦旋體中心移動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)以吸入、壓縮和排氣。

在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，形成一組新的新月牙封閉腔，實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮和排氣循環(huán)，形成包容性和強(qiáng)制輸送被泵氣體。

三、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
渦旋真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，主要由五個(gè)部件組成。

①動(dòng)靜渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；⑤電機(jī)渦旋真空泵結(jié)構(gòu)。

渦旋真空泵的主要運(yùn)動(dòng)部件只有動(dòng)渦旋盤，動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，運(yùn)行平穩(wěn)，幾乎無磨損，功耗小，這是其他類型的干真空泵所不具備的。

渦旋真空泵抽速速度小，不適用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體、藥物、溶劑、粉末等介質(zhì)環(huán)境。因此，目前渦旋真空泵主要用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設(shè)備。由于它可以直接在大氣壓下啟動(dòng)，它經(jīng)常作為分子泵和小型低溫泵出現(xiàn)。